我國在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域取得重大突破，成功研發(fā)出國內(nèi)首臺全自動晶圓探針臺。這一成果標志著中國在高端半導(dǎo)體測試裝備領(lǐng)域邁出了堅實的一步，為推動集成電路產(chǎn)業(yè)自主可控奠定了重要基礎(chǔ)。長春光學(xué)精密機械與物理研究所（長春光機所）在這一技術(shù)開發(fā)過程中發(fā)揮了關(guān)鍵作用，為設(shè)備的成功研發(fā)提供了核心技術(shù)支持。

全自動晶圓探針臺是半導(dǎo)體制造過程中的關(guān)鍵設(shè)備之一，主要用于晶圓測試階段，能夠自動完成晶圓的定位、探針接觸及電性能測試等任務(wù)。傳統(tǒng)設(shè)備依賴進口，不僅成本高昂，還面臨技術(shù)封鎖風險。此次國產(chǎn)全自動晶圓探針臺的成功研發(fā)，不僅填補了國內(nèi)空白，還大幅降低了相關(guān)產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)成本，提升了產(chǎn)業(yè)鏈的穩(wěn)定性。

長春光機所在研發(fā)過程中，憑借其在光學(xué)精密儀器和自動化控制領(lǐng)域的深厚積累，攻克了多項技術(shù)難題，包括高精度運動控制、快速定位算法以及探針與晶圓的精確對接技術(shù)。團隊通過優(yōu)化機械結(jié)構(gòu)與控制系統(tǒng)，實現(xiàn)了設(shè)備的高效、穩(wěn)定運行，確保了測試數(shù)據(jù)的準確性和可靠性。

這一成果的取得，離不開國家政策的支持以及產(chǎn)學(xué)研各方的緊密合作。隨著國產(chǎn)全自動晶圓探針臺的推廣應(yīng)用，將進一步推動我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主創(chuàng)新，助力高端制造轉(zhuǎn)型升級。長春光機所表示，將繼續(xù)深耕技術(shù)研發(fā)，為國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備的發(fā)展貢獻力量。